1.2XZ系列旋片式真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。
2.正確地選擇真空泵的工作點，每種泵都有一定的工作壓強范圍。如：擴散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,抽泡旋片式真空泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。
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